近日，北京理工大学重庆微电子研究院（以下简称“北理微电院”）传来喜讯。全国首款全流程自主化生产电热微镜芯片正式下线。该芯片电热MEMS技术打破微型近红外光谱仪核心部件技术瓶颈，填补国内技术空白，可广泛应用于生物医疗、军事国防电子信息、智慧农业等多个领域。

北京理工大学重庆微电子研究院

目前，北理微电院该产线已完全实现电热微镜芯片设计、交付流片、晶圆制造、封装、测试全流程的自主可控，标志着重庆成为全国唯一一个可以自主研发并批量生产低成本、高性能、阵列化、高集成度电热微镜芯片的城市。

“与其它驱动技术相比，电热微镜芯片具有多项优势，除了工作电压较低，最主要是可提供较大的垂直位移和扫描角度，实现对光束的精确控制。”北理微电院彭喆博士介绍道。

他进一步说道，对比可以垂直移动的静电微镜芯片而言，国外售价在一万元每颗左右，而此次下线的电热微镜芯片可以实现该芯片成本的大幅降低，真正实现把芯片价格“打下来”。

电热微镜芯片

而芯片价格“打下来”的背后，是无数科研工作者的长久坚守。北理微电院院长、首席科学家谢会开教授介绍，芯片的稳定性是整个系统稳定的重要保障，为了让这颗“心脏”的稳定性保持最优状态，团队成员从2008年起就开始寻找合适做芯片的材料。

从浩如烟海的备选材料中，他们找到了满足要求的金属和介电质双材料组合，完成了从芯片到模组到系统的研发，再到整机的软件和算法开发，全部实现自主研发。

“现在芯片对驱动信号的响应时间，从最初的0.1秒已经提高至0.01秒。实现了量级上的跨越。”谢会开教授介绍道，除微型光谱仪外，该款电热芯片还可应用在光学相干断层扫描（OCT）、激光雷达（LiDAR）等诸多领域中。

如今，北理工微电院在电热芯片的带动下，与重庆多个医药、航天、工业企业形成合作，带动企业效能提升。“从0到1，我们花了20年时间，却只是芯片发展的微小一步，但我们坚信，坚持就是胜利，中国芯，一定能行！”谢会开教授如是说。